物理敏感半導(dǎo)體傳感器將物理量轉(zhuǎn)換成電信號的器件，按敏感對象分為光敏、熱敏、力敏、磁敏等不同類型，具有類似于人的視覺、聽覺和觸覺的功能。這類器件主要基于電子作用過程，機(jī)理較為簡單，應(yīng)用比較普遍，半導(dǎo)體傳感器的無觸點(diǎn)開關(guān)應(yīng)用尤廣。它們與微處理機(jī)相配合，能構(gòu)成遙控、光控、聲控、工業(yè)機(jī)器人和全自動化裝置。下表列出常用的物理效應(yīng)。
　　化學(xué)敏感半導(dǎo)體傳感器將化學(xué)量轉(zhuǎn)換成電信號的器件，按敏感對象可分為對氣體、濕度、離子等敏感的類型，具有類似于人的嗅覺和味覺的功能。這類器件主要基于離子作用過程，機(jī)理較為復(fù)雜，研制較難，但有廣闊的應(yīng)用前景。通常利用的化學(xué)效應(yīng)有：氧化還原反應(yīng)、光化學(xué)反應(yīng)、離子交換反應(yīng)、催化反應(yīng)和電化學(xué)反應(yīng)（固體電解質(zhì)濃淡電池反應(yīng)）等。
　　生物敏感半導(dǎo)體傳感器將生物量轉(zhuǎn)換成電信號的器件，往往利用膜的選擇作用、酶的生化反應(yīng)和免疫反應(yīng)，通過測量反應(yīng)生成物或消耗物的數(shù)量達(dá)到檢測的目的。生物敏感傳感器所用的敏感功能材料是蛋白質(zhì)，而蛋白質(zhì)分子只能同特定物質(zhì)起化學(xué)反應(yīng)。通常利用的生物學(xué)效應(yīng)有抗原抗體反應(yīng)、酶作用下的氧化反應(yīng)、微生物活組織和細(xì)胞的呼吸功能等。

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